“咕咚！”

一道疑惑的声音打破了会议室此刻骇然惊悚的氛围：“肖部长！您没有开玩笑吧？”

台上的路远太年轻了，看模样只有十四五岁的样子。

哪怕年龄大一点，也超不过二十岁。

一个如此年纪的孩子，怎么可能研究出超越阿斯麦的光刻机技术呢？

这也是会议厅中大部分人觉得不可思议的原因。

“黄院士！我很确定！路总工已经研究出了SSMB-EUV光刻机组的技术，而且技术详细到每一个螺丝钉的尺寸、工艺！”

科技部部长肖长安站了起来，他郑重的说道：“技术昨天夜里已经经过龙科院刘院长、国家激光研究所的张院士等三十多位教授院士的认证！”

哗啦！

会议厅中的大部分科研学者纷纷一颤。

有的人直接跌坐在了地上，有的人闪了腰，有的岔了气。

最后排的龚喜等人更是震悚颤抖了起来。

突然间。

龚喜脑中划过了一道灵光，她回忆起了不久前去找龚崇山时的场面，这把她吓了一跳：“难道说他说的是真的？”

众人死死的盯着路远，想要看一看，这位青年是如何创造奇迹，与他们又有什么不同。

“太不可思议了！”

“一个人研究出了整套技术，详细到了螺丝钉的规格技术，这已经不是天才了！而是妖孽！”

……

要知道，目前一台高端光刻机至少有上万个零部件构成。

包含曝光系统、工件台掩膜台系统、自动对准系统、调焦调平测量系统、掩膜传输系统、硅片传输系统、环境控制系统、整机框架及减震系统、整机控制系统、整机软件系统等等。

这些零部件哪怕是阿斯麦这样的公司，也是从各个供应商那里定制，然后运回公司进行组装。

他们提供的最多就是图纸、数据，具体供应商用哪种制作工艺制造出零部件，阿斯麦根本不会管这些。

肖长安竟说这些都是路远一个人研究出来的，其中还涉及有零部件的工艺技术。

这是一个人能制作出来的吗？

如果它真这么容易就能研究出来的话，国家何至于将光刻机的诸多技术，分配给各个实验室进行深研呢？

哪怕阿斯麦也是汇聚了全球顶尖的零部件供应商，才制造出了最顶尖的光刻机。

你当世界顶尖研究团队都是吃干饭的吗？

再说了，这个世界怎么可能